1.負責半導體生產設備的日常維護、保養及故障診斷。
2.制定設備維護計劃并監督執行。
3.優化設備運行參數，提升生產效率和良品率。
4.主導新設備引進的安裝調試及驗收工作。
5.編制設備操作規范并對操作人員進行技術培訓。
6.監控設備運行狀態，實施預防性維護措施。
7.管理設備備件庫存，控制維護成本。
8.配合生產部門解決設備相關技術問題。